装置
両面マスクアライナー ｜ Union PEM-800
電気配線、流路などの作製
ECRスパッタ装置 ｜ ELIONIX EIS-220T
Pore作製、流路作製、電極作製
ダイシング ｜ disco DAD322
ウエハの切り出しに使用
CVD ｜ SAMCO PD-200STP-NP
SiO2成膜など
UVクリーナー ｜ SAMCO UV-1
基板洗浄、レジスト除去
光学顕微鏡 ｜ OLYMPUS BX-61
サンプル観察
簡易電子顕微鏡 ｜ HITACHI TM3030
表面・断面などの形状観察、レジストのエッチング耐性向上
スピンコーター ｜ ミカサ MS-A150
レジスト、イミド、前処理剤などの塗布
FT-IR | ThermoFisher Nicolet iS-50
有機材料の主成分分析
膜厚計 ｜ フィルメトリクス F20-UV
SiO2、Al2O3、SiN、レジストの膜厚測定
電子線描画装置 ｜ JEOL JSM-7001
電気配線、流路などの作製
走査電子顕微鏡 ｜ HITACHI S-4300
表面・断面などの形状観察
光学顕微鏡 ｜ OLYMPUS BX-51
サンプル観察
デジタル顕微鏡 ｜ HIROX KH-8700
PDMS流路内の液挿入確認、低倍サンプル観察
スピンコーター ｜ ミカサ MS-A100
レジスト、イミド、前処理剤などの塗布
プラズマクリーナー ｜ FEMTO
PDMS接着、SiO2表面の親水化など